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萬(wàn)華節(jié)能在特種氣體領(lǐng)域提供行業(yè)解決方案，主要提供在集成電路、光伏新能源、顯示面板制作過(guò)程中所需的以硅烷類(lèi)為主的特種氣體
沉積氣體
顯示面板行業(yè)，CVD沉積制備氮化硅層和a-Si可以使用硅烷氣體。在LCD中，被用來(lái)制作TFT保護(hù)層和絕緣層。
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