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萬(wàn)華節(jié)能在特種氣體領(lǐng)域提供行業(yè)解決方案，主要提供在集成電路、光伏新能源、顯示面板制作過程中所需的以硅烷類為主的特種氣體
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沉積氣體主要沉積電池片氮化硅減反膜、poly多晶硅以及晶硅異質(zhì)結(jié)電池的非晶硅薄膜沉積的制備。
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